產(chǎn)品簡介
等離子體清潔儀(Plasma Cleaner)是一種專用于表面清潔和改性的高精度設(shè)備,其核心原理是利用等離子體技術(shù)高效去除物體表面的有機(jī)或無機(jī)污染物,并實(shí)現(xiàn)對材料表面特性的優(yōu)化。該設(shè)備通過引入工藝氣體(通常為氫氣、氧氣、氦氣等氣體),在高能電場作用下激發(fā)氣體分子,使其電離形成等離子體。這些等離子體由高能電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子組成,具有極高的化學(xué)活性。在電場的作用下,等離子體中的活性粒子以高速撞擊待清洗物體的表面,通過與污染物分子發(fā)生物理轟擊或化學(xué)反應(yīng),將其分解為揮發(fā)性小分子或直接剝離,從而實(shí)現(xiàn)表面的深度清潔。除了清潔功能,等離子體清潔儀還能在一定程度上改變材料表面的物理化學(xué)特性。例如,通過選擇不同的工作氣體和處理參數(shù),可以在材料表面引入特定的官能團(tuán),從而增強(qiáng)其潤濕性、附著力或生物相容性。這種表面改性功能在微電子制造、光學(xué)器件、生物醫(yī)學(xué)材料等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用價值。
NE-Q03H等離子體清潔儀產(chǎn)品特點(diǎn):1、自動開關(guān)門設(shè)計,實(shí)現(xiàn)設(shè)備真空門的自動開閉,減輕作業(yè)員手工操作的動作,保證真空門的密封效果;2、7寸彩色觸摸屏互動操作界面,實(shí)時工作參數(shù)狀態(tài)直觀顯示;3、采用質(zhì)量流量計控制工藝氣體流量,控制更準(zhǔn)確;4、支持手動/自動兩種工作模式切換,可存儲多個工藝配方,方便調(diào)用,工藝數(shù)據(jù)可追溯;5、采用45度傾角操作面板設(shè)計,符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。
產(chǎn)品參數(shù)
型號 | NE-Q03H |
等離子發(fā)生器頻率 | 13.56MHz |
等離子發(fā)生器功率 | 300W(固態(tài)射頻電源) |
腔體材質(zhì) | 石英耐熱玻璃 |
腔體尺寸(圓形) | Φ105×300(D)mm |
氣體流量控制器 | 0-300 SCCM(質(zhì)量流量計) |
腔體容積 | 2.5L |
工藝氣體 | 2路(氧氣、氬氣等) |
控制方式 | PLC+7寸觸摸屏 |
外形尺寸 | 552mm(L)×612mm(W) ×520 mm(H) |
電源供應(yīng) | 220V |
應(yīng)用案例
等離子技術(shù)
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