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首頁(yè) / 產(chǎn)品中心 / 低壓真空等離子設(shè)備 / 小型實(shí)驗(yàn)等離子清洗機(jī)（射頻） / ICP電感耦合等離子清洗機(jī)NE-Q05

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

NE-Q05等離子清洗機(jī)采用ICP電感耦合外電極等離子發(fā)生方式，其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、等離子體密度高、腔體內(nèi)部無(wú)電極，有效避免電極濺射污染，真空腔體采用高潔凈石英玻璃腔室，易清潔，不易與產(chǎn)品發(fā)生反應(yīng)。

等離子清洗機(jī)既能加強(qiáng)樣品的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性，也能對(duì)樣品進(jìn)行消毒和殺菌。目前等離子清洗技術(shù)現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

產(chǎn)品參數(shù)

型號(hào)	NE-Q05
頻率	射頻13.56 MHz 固態(tài)射頻電源
功率	0-200W（可調(diào)）
腔體材質(zhì)	石英耐熱玻璃
腔體容積	5L
腔體尺寸（圓形）	Φ150×280（D）mm
觸摸屏	4.3寸
極限真空度	1Pa
控制方式	PLC+觸摸屏
工藝氣體通道	標(biāo)配2路（O₂、Ar、N₂、H₂等）
外形尺寸	510mm(L)×480mm(W) ×540 mm(H)